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爱发科ULVAC NRL180A干式真空泵卡死维修

  • 所属分类:爱发科真空泵维修
  • 浏览次数:
  • 发布日期:2020-04-27
详细先容:

爱发科NRL180A干式螺杆真空泵一般用于排出非活性气体(溅射镀膜、蒸气镀膜、热处理、液晶注入等),排出非活性气体行业对泵的腐蚀性很大,大多数真空泵都是因为腐蚀后转数慢,影响到生产效率,需要专业的厂家维修,东莞比其尔真空承接爱发科NRL180A干式螺杆真空泵维修

爱发科干式真空泵卡死维修

爱发科ULVAC NRL180A干式真空泵卡死维修

针对真空泵腐蚀的修复方法:

彻底清除表面氧化层,用丙酮将表面清洗干净。喷砂、打磨、涂防腐蚀涂层保护,专业的安装方式完工。

爱发科NRL系列在低温领域下的均热化,除PVD工艺外,龙其适用于希翼提高流量,缩短非气时间的重要工艺腔体的排气。

爱发科真空泵NRL180A特点:

低噪音、低振动、超强的耐腐蚀性。

标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理,降低对府蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。

随泵配送选购件:

可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。

适用于行业:

活性气体(CVD/刻蚀等)

排出非活性气体(溅射镀膜、蒸气镀膜、热处理、液晶注入等)

用于产生粉尘工艺中的排气(Si单品炉等) 

作为前级泵使用(涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵) 

冷冻干燥等水蒸气排气。

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